排量测量

什么是干涉仪?干涉仪的类型有哪些

干涉法是什么

干涉仪是利用激光波长测量位移的一种测量方法。它具有非接触测量的特点,代表了高精度运动控制应用的反馈系统。由于其精度高,分辨率高,适用于晶圆步进、平板检测、激光微匹配等领域。干涉术是将波叠加起来以获取波的信息的过程,其中大多数波是电磁波。

干涉测量学的使用是什么?

干涉仪用于工业中进行小型位移的测量。由于半导体和汽车工业中的高精度校准,因此对干涉仪的需求产生。干涉测量是光纤,计量,化学,量子力学,核物理学领域的重要调查技术。

图表的干涉仪

来自透镜的光线由透镜1准直,并分成两个流,一个流到镜子1,镜子1反射到测试部分之后,在屏幕上投影。第二流通过在镜子2上投射的分离器1,该镜子2将光反射到分离器2,并且具有来自镜M1的第一光束的统一,然后移动到屏幕。在没有流动的情况下,光束在屏幕上给出相同的照明模式,但是当流动在屏幕上构成各种各样的图案时

为什么天文学家使用干涉测量

天文学家使用干涉仪将信号与望远镜相结合,因此它们的工作方式与更大且更强大的乐器相同,可以更深地进入空间中的一些干涉仪与其他人使用无线电波。

类型的干涉仪

什么是激光干涉仪

它是一种光电仪器,通过检查参考光束和从目标物体反射的激光束之间的相位关系,以光的波长来测量距离。激光器产生具有相位相干的单频准直光线,具有光学装置的激光束产生参考光束,参考光束的一部分被传输到目标,另一部分被发送到干涉仪。来自源的参考波束和来自目标的反射波束之间的相位差等于波束穿过的额外长度,并且来自两个信号之间的差的数字化信息提供了距离信息。激光干涉仪由一个稳定的光源、一个由偏振分束器和一个反反射器组成的干涉仪光学元件、一个移动的反反射器或环境传感器以及最后的显示或检测电子元件组成。

激光干涉仪的用途是什么?

主要用于机床安装时的精密运动测量和精密机床滑块的直线度和机床结构的垂直度的检查。激光干涉仪广泛应用于许多汽车行业,它是各种长度测量设备如步进计、比例尺、角度和坐标测量仪器标准校准的跟踪参考。

激光干涉仪的类型是什么类型

有两种类型的激光干涉仪,它们是杂质,外差A型同源干涉仪使用单个频率激光源,而外差干涉仪使用具有两个近频的激光源。

Homodyne干涉仪

Homododyne干涉仪通常用作FT光谱仪中的位置传感器,可以通过计数正弦脉冲来确定移动镜的相对位移。通过测量其频率可以获得速度信息,以便确定需要额外光学器件的额外光学器件。

外差干涉仪

外差干涉仪通过测量由于多普勒效应来测量相变的镜子位移,类似于警察雷达测量汽车速度的方式,为了做到这一点,辐射时间频率需要变小,这是更小的通过使用包含彼此靠近的两个频率分量的源,从而产生比辐射频率自身慢得多的振幅变化的节拍现象。

牛顿干涉仪

原始和最简单的干涉仪是Newton干涉仪,通常称为测试光学表面的“测试板方法”,其中测试和参考表面接触。边缘由测试和参考表面之间的窄气隙形成,测试板已被视镜师使用至少一个世纪,并且今天被广泛使用。牛顿干涉仪的主要缺点之一是当它们接触时刮擦表面的可能性。测试板只能用于检查各个表面的质量。无法使用牛顿干涉仪检查望远镜的总系统质量。

Tymann格林干涉仪

Tymann green是最现代的干涉仪之一,单色光通过透镜准直,通过分束器分成两束,形成参考和测试光束。光束从主平面和测试平面反射,由分束器重新组合,条纹在成像透镜的焦点处被观察到。泰曼格林干涉仪不需要在参考面和测试面接触就能产生条纹。由于光的光程长度或光传播的距离,不使用激光进行非接触测试是可能的,干涉仪的测试和参考臂是相同的,因此测试和参考表面有效地接触,这将允许形成条纹。这种光路的平衡使得泰曼-格林干涉仪能够测试整个望远镜。

干涉仪的应用是什么

干涉仪广泛应用于各种科学和工程应用中,用于进行精确的测量。通过在物体上扫描干涉仪,我们可以做出非常精确的表面地图。由于可见光的波长只有几百纳米,所以干涉仪可以用来测量比人的头发还小的长度。

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