电容是最常见的湿度测量形式之一。湿度传感器通常用于构建控制。壁挂式传感器的最有效位置靠近返回空气管道，其中离开房间的空气具有最佳的平均湿度。
原理：
电容湿度仪采用电容方程的原理
C - 电容
板之间的介电材料介电常数。
一个 - 板重叠区域
D - 板之间的距离
操作：
通过将电介质暴露于空气中的水分来进行湿度测量。水分改变两个电极之间的相对电容，其可以测量。
介电材料是影响电容性湿度传感器性能的最重要因素。其他因素是加工条件，传感器结构和透水电极或电极的性质。
电极：
顶部电极使水可渗透。透水顶电极最初是薄的金膜，但是技术进步现在已经使用了裂纹的铬膜。多孔金属薄膜是另一种新兴技术，只允许水渗透薄膜，不包括醇。此功能可提高稳定性
传感器特别是在涉及蒸汽的应用中，除水蒸气外。该技术还实现了超快速的响应。
导电铝基材料通常用作底部电极。
电介质：
氧化铝通常用作介电介质。氧化铝的掺杂可以用氯化锂进行，得到更大的操作范围，通常降至-70℃。使用氯化锂还要求该装置单独校准，并减慢响应。
优点：
- 广泛的感应
- 小尺寸
缺点：
- 非线性
- 需要定期校准
- 不准确
